等离子水洗式尾气处理设备

等离子水洗式尾气处理设备，使用2000度以上的高温等离子作为热源，可用于处于半导体、平板显示、LED等行业的特殊气体的处理，例如：NF3，SF6，CF4，C4F6，C5F8 及TMA等。