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催化

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干式催化尾气处理设备

主要用于处理CF4、SF6、NF3、CxFx、NH3 等气体，采用特殊催化材料，使其可在较低的温度即可分解，并同时被吸附剂进行吸收，不产生废水，安全可靠

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加热催化原理：

工艺流程图：